金融界2025年1月17日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京特思迪半导体设备有限公司获得一项名为“一种侧向定位组织”的专利,授权公告号CN 222345194 U,请求日期为2024年5月。
专利摘要显现,本请求供给一种侧向定位组织,归于半导体加工设备技术领域,包含:基座;定位轴;导向轮,安装在定位轴端部,导向轮具有随定位轴上下滑动的作业方位及非作业方位,在作业方位,导向轮与定位轮合作对放置在研磨盘上的晶圆承载盘做定位。机械手将带有晶圆的承载盘放置在研磨盘上后,研磨回旋扭转转过程中带动承载盘一起进行旋转移动,承载盘别离抵接至导向轮和定位轮上,导向轮和定位轮会阻挠承载盘跟从研磨盘持续滚动,承载盘会被约束在导向轮与定位轮处,以此来完成对承载盘的定位,使得研磨头每次都能移动至导向轮与定位轮约束承载盘的方位,快速对准承载盘,对晶圆进行研磨,缩短了研磨头与晶圆的对准时刻,进步了晶圆的研磨功率。
天眼查资料显现,北京特思迪半导体设备有限公司,成立于2020年,坐落北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册本钱1656.925954万人民币,实缴本钱712.235754万人民币。经过天眼查大数据分析,北京特思迪半导体设备有限公司参加招投标项目99次,知识产权方面有商标信息32条,专利信息117条,此外企业还具有行政许可20个。